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WAFER LINE是SOI、貼合晶圓等的晶圓檢查專用機(jī)
根據(jù)您的要求，機(jī)器人自動(dòng)搬運(yùn)、自動(dòng)測(cè)定、自動(dòng)判定，可全自動(dòng)工作。
已經(jīng)積累了在多個(gè)客戶的量產(chǎn)線上連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的實(shí)際業(yè)績(jī)，獲得了高度的評(píng)價(jià)。
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4～8英寸用WAFER LINE
（支持晶圓盒）
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特點(diǎn)、規(guī)格:
根據(jù)您的要求，還可制作以下規(guī)格的裝置。
· 半導(dǎo)體前工序的生產(chǎn)線設(shè)置用
裝置內(nèi)處理室清潔度3級(jí)(ISO)以上（在潔凈室內(nèi)組裝裝置）
SUS箱體、支持FOUP
· 高速檢查
與具有相同分辨率的單焦點(diǎn)探頭設(shè)備相比，電子掃描式陣列探頭設(shè)備可以做到高速顯示。
（機(jī)械部分的運(yùn)動(dòng)少，也有助于保持清潔度）