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日立IM4000Plus離子研磨儀
利用氬離子對(duì)樣品即可以進(jìn)行平面研磨，也可以進(jìn)行截面切割，是對(duì)樣品進(jìn)行無(wú)應(yīng)力加工的理想工具，
不會(huì)產(chǎn)生傳統(tǒng)的切割或機(jī)械拋光帶來(lái)的變形錯(cuò)位、機(jī)械應(yīng)力或劃痕污染等對(duì)樣品的形貌觀察和結(jié)構(gòu)分析
帶來(lái)的不利影響，通過(guò)制冷功能可以對(duì)受熱易損傷的樣品進(jìn)行加工。
1. 即可進(jìn)行截面切割，也可進(jìn)行平面研磨 2. 加工效率更高，截面約500μm/h 3. 程序控制間歇式加工 4. 通過(guò)制冷功能可以對(duì)受熱易損傷的樣品進(jìn)行加工
案例圖：
1、樣品：彩色打印用紙截面（多層結(jié)構(gòu)） 放大倍率：1萬(wàn)倍
刀片切割方式制樣 IM4000 plus離子研磨截面切割
2、樣品：鋰電池隔膜截面 放大倍率：2萬(wàn)倍
沒(méi)使用制冷研磨 使用制冷研磨
3、樣品：金線焊接處截面 放大倍率：1萬(wàn)倍
機(jī)械拋光處理后 IM4000 plus離子研磨平面處理