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晶圓搬送機 AL120-12

產(chǎn)品概覽技術(shù)規(guī)格資料下載行業(yè)應(yīng)用

自動300mm晶圓搬送機

AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。

**且符合人體工程學的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和**。

人機工程學設(shè)計，操作方便
? 可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
? 分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。

堅固、可靠和**傳送
? 延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和**性，能夠**可靠的傳送300 mm晶圓。
? 薄片，Warped晶圓皆能**搬送。
? 宏觀觀察位置的*優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。

資料標題	文件大小	下載次數(shù)	下載
AL120-12	675 kb	134	下載只有會員下載，請登錄下載

滬ICP備13022329號-3

	AL120-LMB12-LP	AL120-LMB12-F
晶圓尺寸	300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm
卡盒	●FOUP（Front Opening Unified Pods）前開門標準夾 ●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 ●FIMS-FOSB, FOSB	●FOSB（Front Opening Shipping Box）前開門搬運盒 ●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
卡盒數(shù)	單盒（裝載、卸載兼用）
卡盒設(shè)置高度	900 mm
裝載端口	有	無
搬運順序	表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
檢查模式	全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準	非接觸式中心環(huán)
晶圓搬運方式	真空吸附機械搬運
適用顯微鏡	半導體檢查顯微鏡MX61L
應(yīng)用環(huán)境	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa 壓縮空氣0.5MPa～0.6MPa	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa
載物臺	XY手動吸附載物臺，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機構(gòu)
重量（不包括顯微鏡）	約360 kg	約270 kg