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自動化原子力顯微鏡 Park NX-TSH

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專為超大納米平板顯示器測量而設(shè)計的自動化原子力顯微鏡（AFM）系統(tǒng)

隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，Park NX-TSH通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進(jìn)行納米計量的巨大挑戰(zhàn)。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺階高度測量和關(guān)鍵尺寸測量。

為OLED面板行業(yè)整片測量，超高尺寸鏡片測量，提供全自動的原子力顯微鏡計量解決方案。

專為OLED面板行業(yè)整片測量，LCD測量提供的全自動探針掃描器解決方案

專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計

Park原子力顯微鏡公司已經(jīng)擴(kuò)展了原子力顯微鏡設(shè)備的測量尺寸，Park NX-TSH（龍門架設(shè)計平板式探針掃描器）可針對第八代及

大于第八代的所有大型平板顯示器進(jìn)行測量。專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計，樣品尺寸可以測2200 mm。

硅片直徑的變化

使用導(dǎo)電原子力顯微鏡，Park NX-TSH 使用可選探針站測量樣品表面，該探針站接觸樣品表面并向小設(shè)備或晶圓片上的設(shè)備提供電流。

Park NX-TSH用于帶有導(dǎo)電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品，通過集成微探針站進(jìn)行電氣缺陷分析。

Park NX-TSH特點

克服了樣品大小和重量的限制

Park原子力顯微鏡公司新開發(fā)的探針掃描器結(jié)合了X、Y和Z掃描器，可以直接移動到所需測量的點。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向掃描探針頭，X- Y方向可達(dá)到100μm X 100 μm和Z方向可達(dá)到15 μm ，并有靈活的卡盤，以適應(yīng)超過300毫米的超大超重樣品，用于OLED和LCD大樣品分析。樣品固定在樣品卡盤上，連接在機(jī)架上的探針掃描頭移動到樣品表面的測量位置。 Park NX-TSH的探針掃描頭系統(tǒng)因此克服了樣品固定在樣品卡盤上時候樣品大小和重量的限制。

專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計，樣品尺寸可以測到2200 mm.

Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進(jìn)行納米計量的巨大挑戰(zhàn)，可掃描出高分辨率圖像。

具有閉環(huán)雙伺服系統(tǒng)的100μmx 100μm柔性導(dǎo)向XY掃描器

XY掃描器由對稱的二維撓曲和高強(qiáng)度壓電疊層組成，它*小化的面外運動能提供高度的正交掃描，用*快的響應(yīng)來完成納米尺度上**樣品掃描。XY 掃描器的每個方向是都裝有兩個對稱的低噪聲位置傳感器，在*大的掃描范圍及大樣品掃描時能發(fā)揮高效的正交性。

具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描器

NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線性Z電壓信號，可為用戶提供高精度測量。業(yè)界優(yōu)越的低噪聲Z檢測器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號。標(biāo)準(zhǔn)Z掃描器由高強(qiáng)度壓電堆驅(qū)動，并由撓曲結(jié)構(gòu)引導(dǎo)，具有高共振頻率，可以實現(xiàn)更準(zhǔn)確的反饋。使用可選的長距離Z掃描儀，*大Z掃描范圍可從15μm擴(kuò)展到40μm。

自動測量控制，簡易操作測量更精準(zhǔn)！

aotomatic-softwareNX-TSH配備自動化軟件，使用測量程序便可獲得**的多點分析，并對懸臂梁調(diào)諧、掃描速率、增益和設(shè)定點參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置。

Park人性化設(shè)計的軟件可使用戶自由訪問NX-TSH的全部功能并獲得所需的測量值。

創(chuàng)建新的測量程序其實很簡單，從開始創(chuàng)建到能夠自動化運行只需大約10分鐘的時間，而對創(chuàng)建過的程序進(jìn)行修改的話也只需不到5分鐘。

Park NX-TSH的全自動特征:

? 自動，半自動，手動模式三種模式隨時切換控制
? 提供自動化程序的編輯方法
? 實時監(jiān)控測量過程
? 自動分析所獲得的測量數(shù)據(jù)

高精度，高效率
自動換針器(ATX) ATX通過模式識別自動定位針尖，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。激光光斑通過電動定位技術(shù)自動對準(zhǔn)。
		電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境我們創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周圍區(qū)域，并且將在樣品處理過程中產(chǎn)生意外靜電的風(fēng)險降至*低。

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滬ICP備13022329號-3

系統(tǒng) 技術(shù)參數(shù)	樣品尺寸* 520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg 電動式X方向載物臺* travels up to 625 mm, ± 3 μm分辨率電動式Y(jié)方向載物臺* 行程達(dá)525 mm, ± 3 μm分辨率	電動式Z方向載物臺* Z軸移動距離為25 mm, 0.08 μm分辨率, < 1 μm重復(fù)性電動式對焦臺* Z軸行進(jìn)光學(xué)距離為9 mm COGNEX圖案識別圖案校對分辨率為1/4像素

掃描器性能	XY掃描范圍 100 μm × 100 μm XY分辨率 0.15 nm	Z掃描范圍 15 μm Z分辨率 0.016 nm

AFM和XY移動平臺控制器	ADC 18個頻道 4個高速通道 ADC channels X、Y和Z位置傳感器(24位ADC)	DAC 17 channels 2個高速DAC通道 X、Y和Z的定位(20位DAC)

合規(guī)	CE SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)

振動，噪聲，靜電防護(hù)（ESD）性能	地板振動要求 < 0.5 μm/s (10 Hz to 200 Hz w/ Active Vibration Isolation System)	噪音 >20 dB attenuation w/ Acoustic Enclosure

基礎(chǔ)設(shè)施需求	待機(jī)室溫 10 °C ~ 40 °C 工作室溫 18 °C ~ 24 °C 濕度 30%至60% (不凝結(jié)) 地板振動要求 VC-E (3 μm/sec) 噪音低于65 dB	氣動式真空度 : -80 kPa CDA (or N2): 0.7 MPa 電源額定值 208V - 240 V,單相, 15 A (*大) 總耗電量 Consult Park Systems 接地電阻低于100歐姆

選項	自動換針器 (ATX) ATX通過模式識別自動定位針尖，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。電離系統(tǒng) 電離系統(tǒng)可快速有效地去除靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周圍區(qū)域，并且將在樣品處理過程中產(chǎn)生意外靜電的風(fēng)險降至*低。

尺寸 & 重量	NX-TSH 2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 2720 kg approx. (包括控制箱) 升限高度: 2500 mm以上操作員工作空間: *小3700 mm (w) x 3000 mm (d)