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					在高分辨率、受好評的FineSAT Ⅲ的基礎(chǔ)上，進一步提高了分辨率 
				
    
				
    
					
    
				
    
				
    
					為提高分辨率，提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面，超聲波在傳播介質(zhì)中的衰減越來越大，信噪 
				
    
				
    
					比降低的弊端變大，所以在檢查用途方面，300MHz前后是實用的*高頻率。 
				
    
			    		
			
				
    
			    		
		
    
	    

    

    
300MHz頻率的超聲波，在*佳條件下，僅 限于5μm左右寬度的線型識別，對于正在應(yīng)用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細結(jié)構(gòu)體的檢查時，可能無法適用。
    
FineSAT HR開發(fā)了新型電路、提高了分辨率，成功突破了這類超聲波檢查裝置的極限。
    
 

    
	產(chǎn)品構(gòu)成： 

    

    
	
		
    
			
			
			
				FS100ⅢHR
			
			
				FS200ⅢHR
			
			
				FS300ⅢHR
			
		
    
		
    
			
				支持探頭頻率(MHz)
			
			
				5～75
			
			
				5～140
			
			
				5～300
			
		
    
	    

    

    
    
                        
                    
    
                    

                
    
            
    
        
    
    
    

    

    






    
    
    
        
        
    
            
        
    
    
    

    



    
        
        
        
        
    

    
     


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